依據(jù)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472-2008標(biāo)準(zhǔn)，身處半導(dǎo)體芯片行業(yè)大牛以潔凈廠房建設(shè)分為幾個重點(diǎn)闡述的明明白白，業(yè)主方可多多學(xué)習(xí)和參考，具體如下。

      第一部分制造半導(dǎo)體的潔凈廠房在形式上跟其他的平板潔凈廠房的形式上沒有什么要求。根據(jù)循環(huán)空氣的特點(diǎn)把潔凈廠房分為三種，第一種我們叫做循環(huán)空調(diào)將配合高校順風(fēng)口的形式，這種潔凈室的形式是比較早的形式，在八十年代甚至最早的六十年代都是用這種形式。它的形勢比較多種送風(fēng)的形式有上送、側(cè)送。它的缺點(diǎn)是不適合高等級和大面的潔凈室，運(yùn)行成本高，占用空間大。

      第二種形式是循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)，它的特點(diǎn)是高靜壓、液槽密封;適合各種等級的潔凈室。它的缺點(diǎn)是運(yùn)行費(fèi)用比較高，主要是電費(fèi)方面，再來就是噪音比較高，循環(huán)風(fēng)機(jī)一般都是大風(fēng)機(jī)可能通過風(fēng)管或者建筑結(jié)構(gòu)引進(jìn)來。另外施工難度大，漏風(fēng)量大，系統(tǒng)升級(潔凈度)擴(kuò)充困難。

      我們講一下環(huán)境控制，首先是潔凈度。下面這張圖是整個潔凈度控制的概念圖，首先是新風(fēng)部分，一般配置是初效、中效和高效。潔凈室的等級通常決定高校過濾器的覆蓋率，一級潔凈室要求高效100%%覆蓋率，換氣次數(shù)400次。100級是25%%覆蓋率，換氣次數(shù)100，1000級是12.5%%覆蓋率、換氣次數(shù)在50次。

      半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過程的潔凈等級要求，要求一般的是光照制造，還有微環(huán)境，其他的一些大的區(qū)域，包括薄膜等在百級。潔凈度的要求是不是越高越好，這個主要還是決定我們的設(shè)計(jì)，或者對生產(chǎn)的要求，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會成倍的增加。目前對一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境，不需要很高的潔凈度。還有濕度控制，濕度控制主要通過循環(huán)通氣冷卻系統(tǒng)，去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱，最終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過新風(fēng)控制箱進(jìn)行控制，溫度的控制目的有兩個，首先是人員的舒適性，溫度在21-23度都沒有問題，作為制程來說我們關(guān)注的是波動性?？刂茲崈舴康臐穸戎饕康氖菨穸冗^低將容易產(chǎn)生靜電、濕度過高，對產(chǎn)品的影響。第二點(diǎn)是正壓，通過潔凈室內(nèi)的壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率改變送風(fēng)量保持潔凈室的設(shè)定正壓，靜壓層保持微正壓。

      半導(dǎo)體廠對靜電消除主要是通過兩種模式一個是被動式的靜電消除，這個設(shè)備解題，包括墻板、高架地板、辦公設(shè)備等。另外一個潔凈室的階梯網(wǎng)，主動式的靜電消除就是用靜電消除器，針對不同的潔凈等級對靜電消除器有很多形式。第一張圖是百級潔凈室圖片的樣子，旁邊是千級潔凈室內(nèi)的圖片。下面還有輻射式的基本也是屬于主動式消除的一種。

      新風(fēng)系統(tǒng)我們單獨(dú)做一部分講解，主要是對于半導(dǎo)體來講對環(huán)境是最重要的一部分，也是最容易產(chǎn)生問題的部分。新風(fēng)系統(tǒng)有三大作用，保證潔凈室內(nèi)一定是正壓。第二是控制潔凈室的濕度。第三個是凈化室外空氣、保證供氣品質(zhì)。新風(fēng)系統(tǒng)特點(diǎn)第一能耗比較高，每個范圍都會有一個大的制冷扇，還有大風(fēng)量，再一個結(jié)構(gòu)復(fù)雜。新風(fēng)系統(tǒng)在設(shè)計(jì)上有一些要求，主要是節(jié)能方面，整個空調(diào)系統(tǒng)占半導(dǎo)體廠能耗的30%%-45%%，其中近70%%被新風(fēng)系統(tǒng)消耗掉。所以下面有一些節(jié)能的措施，包括設(shè)置上可以采用熱回收的設(shè)計(jì)，由于時間的關(guān)系這里不再詳細(xì)介紹。