半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)不僅對(duì)潔凈度有著高要求，對(duì)溫濕度也有著高要求，那么，半導(dǎo)體無(wú)塵車間設(shè)計(jì)施工時(shí)如何保障溫濕度控制的呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來(lái)了解下吧!

　　半導(dǎo)體無(wú)塵車間通常采用新風(fēng)空調(diào)箱+風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元+干冷盤管的設(shè)計(jì)，即新風(fēng)空調(diào)箱將具有一定潔凈等級(jí)和溫濕度的新風(fēng)送到潔凈室的回風(fēng)通道中，與循環(huán)回風(fēng)進(jìn)行混合后進(jìn)入潔凈室吊頂上方，通過(guò)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU后進(jìn)入潔凈室生產(chǎn)區(qū)域，從而基本達(dá)到無(wú)塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個(gè)潔凈室內(nèi)擺滿了各種生產(chǎn)機(jī)器，這些機(jī)器都保持持續(xù)的運(yùn)轉(zhuǎn)，會(huì)產(chǎn)生大量的熱量，這些熱量又將通過(guò)回風(fēng)通道內(nèi)的干盤管進(jìn)行冷卻而被帶走，從而達(dá)到維持長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境。

　　對(duì)于半導(dǎo)體無(wú)塵車間的溫濕度控制，主要的兩塊是新風(fēng)空調(diào)箱和干盤管。新風(fēng)空調(diào)箱除了要保證外界大氣經(jīng)過(guò)其中的初、中和高效過(guò)濾網(wǎng)，把空氣中的粉塵顆粒過(guò)濾掉外，還要根據(jù)潔凈室里面的溫濕度情況調(diào)整出風(fēng)口的溫濕度以保證送入的新風(fēng)在規(guī)定的溫濕度范圍內(nèi)。而干盤管是根據(jù)潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測(cè)量的值來(lái)調(diào)整干盤管冷水閥的開(kāi)度，進(jìn)而調(diào)節(jié)回風(fēng)和送風(fēng)混合后的溫濕度，以保證滿足半導(dǎo)體工藝的溫濕度需求。

　　由于每種工藝制程設(shè)備的發(fā)熱量大不相同，導(dǎo)致半導(dǎo)體無(wú)塵車間內(nèi)的機(jī)臺(tái)發(fā)熱量分布不均勻，例如爐管機(jī)臺(tái)的發(fā)熱量相較于其他設(shè)備大得多(基本在3 -5倍之間)，因此必須在潔凈室內(nèi)用干盤管帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經(jīng)過(guò)同一組DCC，在建筑已經(jīng)確定的情況下，制程的分布要與回風(fēng)道垂直。如果條件允許，最好是將不同制程的區(qū)域隔開(kāi)，這樣既可避免金屬粒子污染，又能提高溫濕度控制的穩(wěn)定性。

　　通常情況下，潔凈室的溫濕度控制在22+/-0.5°C，45%+/-3%RH，MAU 的送風(fēng)溫度基本控制在21°C-21.5°C，在與循環(huán)風(fēng)混合后，F(xiàn)FU 出風(fēng)口的溫度控制在22°C，這樣，經(jīng)過(guò)工作層面后溫度將會(huì)再上升，在機(jī)臺(tái)滿載的情況下上升溫度會(huì)基本穩(wěn)定。