隨著計(jì)算機(jī)、微電子和信息技術(shù)的發(fā)展，推動(dòng)了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展，也帶動(dòng)了無(wú)塵車(chē)間潔凈室技術(shù)的發(fā)展，同時(shí)對(duì)潔凈室的設(shè)計(jì)提出了更高的要求，電子制造業(yè)的無(wú)塵車(chē)間施工設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù)，只有充分了解電子制造業(yè)的無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)特點(diǎn)，做到設(shè)計(jì)合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。

　　例如在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)的光刻工序中，硅片露出在生產(chǎn)環(huán)境中，污染概率很高時(shí)元器件的廢品率也會(huì)很高，所以為避免出現(xiàn)這種傷害，現(xiàn)階段在超大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路的潔凈廠房中一般選用微環(huán)境，把加工工藝核心區(qū)隔離，在微環(huán)境的隔離區(qū)內(nèi)做到所規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)和環(huán)境控制規(guī)定。

　　目前國(guó)內(nèi)的集成電路制造公司、廠家是按照各自生產(chǎn)的產(chǎn)品、選用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及潔凈室的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)等來(lái)確定潔凈廠房的各潔凈度等級(jí)。所采用的技術(shù)方案、技術(shù)措施均各具特色、不盡相同。今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來(lái)了解下半導(dǎo)體凈化車(chē)間的特點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)及建設(shè)方案吧!

　　半導(dǎo)體凈化車(chē)間的特點(diǎn)：

　　潔凈度等級(jí)要求高，風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控，照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類(lèi)潔凈室對(duì)靜電要求、濕度要求都極其嚴(yán)格，因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電。一般來(lái)說(shuō)，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺(jué)舒適。

　　半導(dǎo)體車(chē)間潔凈室的施工要求：

　　由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。

　　例如

　　1、電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)

　　2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

　　3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

　　4、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

　　5、保證供給無(wú)塵車(chē)間潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

　　6、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。